Suite à l’achat d’un nouvel équipement PVD/CVD/ALD, le CEA/LETI souhaite faire l’acquisition de 2 systèmes d’abattements (scrubbers).\r\n\r\nLe fournisseur de ces systèmes d’abattements (scrubbers) devra :\r\n- Livrer les systèmes d’abattements (scrubbers) ainsi que leurs accessoires (Raccords, télécommande, …). La livraison est souhaitée le 01/07/2026.\r\n- Installer les systèmes d’abattements (scrubbers).\r\n- Démarrer les systèmes d’abattements (scrubbers) et vérifier leurs performances.\r\n- Faire l’étude, la réalisation, la fourniture du boitier et ses câbles ainsi que le test de l’interfaçage avec l’équipement END300F de la société Applied Materials.\r\n(Démarrage/arrêt, mise en idle du scrubber si nécessaire, remontée d’alarme sur équipement avec coupure gaz équipement, …).\r\n- Fournir un rapport de démarrage (configuration, paramètres, tests, …).

Publié le : 07/04/2026